空天信息大学(筹)光刻及表征设备采购项目（11196）更正公告

更正公告一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：SDGP*

原公告的采购项目名称：空天信息大学(筹)光刻及表征设备采购项目（*）

    首次公告日期：*年0*月0*日

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：

*包项目需求和技术方案-货物明细:*；*英寸光刻机，原内容：*.光刻分辨率：≤ 0.* ?m（真空接触、光刻胶厚度≤ * ?m时、等间距图形Line/Space=*:*，*mm范围内*点）；≤*.0 ?m（*?m间隙，光刻胶厚度≤ * ?m时，等间距图形Line/Space=*:*,*mm范围内*点）；->变更为：*.光刻分辨率： ≤ * ?m（真空接触、光刻胶厚度≤ * ?m 时、等间距图形 Line/Space=*:*，*mm 范围内 * 点）； ≤*.0 ?m（*?m 间隙，光刻胶厚度≤ * ?m 时，等间距图形Line/Space=*:*,*mm 范围内 * 点）；。

*包项目需求和技术方案-货物明细:*；*英寸光刻机，原内容：*.曝光灯：LED曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强，使用寿命＞*小时，无需气体冷却，曝光光强：≥ *mW/cm^* @*nm；≥ *mW/cm^* @UV全波段，光强均匀度：≤ ±*.*％@*英寸；->变更为：*.曝光灯：LED 曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强，使用寿命＞* 小时，无需气体冷却，曝光光强：≥ *mw/cm^* @*nm；≥ *mw/cm^* @UV全波段,光强均匀度：≤ ±*.*％@* 英寸；。

更正日期：*年0*月*日

三、其他补充事宜

    无

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。*.采购人信息

名 称：空天信息大学(筹)

地 址：山东省济南市章丘区大学路*号

联系方式：0*-*

*.采购代理机构信息

名 称：山东三木招标有限公司

地 址：山东省济南市市中区二环南路*号*楼*室

联系方式：0*-*

*.项目联系方式

项目联系人：张兆冉

电 话：0*-*