本次采购共划分为*个合同包，投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，否则视为无效投标。各包采购内容分别如下：
| 包号 | 采购设备名称 | 数量 | 计量单位 | 是否允许进口 | 采购预算(万元) | 最高限价(万元) | 技术性能描述 |
| 0*包 | 高频感应等离子球化粉体制备平台 | * | 套 | 不允许 | * | * | 见附件：采购需求 |
技术需求
一、功能部分要求
★*.系统采用模块化设计，用于制备球形粉末、纳米粉末。
★*.可处理具有不同特性的多种材料（金属和合金、氧化物、碳化物、氮化物、硼化物、陶瓷复合材料等）。
★*.无需外接气源用于去除样品表面有机污染物，微观清洁度纳米级。
★*.图形数据特征区域能够自定义识别提取并进行量化分析，针对同批次的图形数据，可一次性批量处理成百上千张图片，并可一一查看批量处理后的每张图形结果，导出所有图形的定量数据，且不需要编程；针对图形定量分析结果，可直接生成 word 版或者 PDF 版的数据报告，直方图和数据列表均可一键式生成，数据报告格式也可自定义编辑。
二、参数部分要求
*.电源：*-*V；*Hz。
★*.输出功率：≥*kW。
*.工作频率：*.*-*.*MHz。
*.稳定阳极电压：最多*kV。
*.阳极电压为*.* kV时的阳极电流：最多* A。
*.感应电源效率：≥*%。
★*.等离子体火炬的原始设计允许材料被加工进等离子体流，既可以直接进入等离子体的中心部分，也可以在等离子体火炬通道的出口处进行处理。
★*.可根据不同材料的制备调节等离子气体消耗量。
*.真空密封，泄漏≤*×*-*升/秒。
★*.可使用多种等离子体形成气体，如：Ar、N*、空气、He（高达*%)、H*（高达*%)和O*，以及这些气体的不同混合比例。
*.放电室内的等离子体稳定：通过涡流或涡流与轴向流的组合。
*.等离子火炬通道直径：* - * mm。
*.等离子炬通道长度：*-* mm。
*.等离子体流长度-纯空气作为等离子体形成气体时，最长可达* mm。
*.等离子体形成气体消耗量在*-* L (标)/min范围内。
*.等离子炬点火：电晕放电或电弧放电。
*.控制系统可监测生命体征系统参数和操作参数，至少包括气体流量启动、水流速率、温度和气体压力。并且包含系统联锁装置。
*.从等离子电源的控制面板上启动工艺气体供应，以及真空三极管预加热的电源供应；并接通控制高压和等离子体起始装置的电源。
*.流量、温度、反应器压力，如果这些参数中的任何一个超出范围，则联锁系统安全关闭。
*.关键线路压力指示，关键位置压力监测报警等级检测。
*.自动子程序（系统抽真空、工作气体填充、钝化、过滤器吹扫、将工作气体排至储罐、气体回收、粉末给料器脱气等）。
*.带有预先制定的详细条件的自动等离子体点火选项和启动程序。
*.基于PLC的系统应提供对所有等离子炬、电源和外围设备的自动手动控制监控与操作。
*.紧急关断按钮。此紧急按钮应在安全条件下停止等离子系统。紧急关断由硬件完成。
*.报警监控和记录事件。
*.服务操作具有有限的安全联锁。
*.显示和存储的典型数据：板电流和电压；向所有区域输送气体；冷却水温度输入/输出；系统压力。
*.所有系统应采用AISI *或AISI *合金制造。
*.主处理反应器、旋风分离器、过滤器、粉罐、换热过渡管等外表面的粗糙度应为Ra≤0.*。
*.主反应器和旋风分离器必须有水冷夹套。
*.主处理反应器应允许水平和垂直安装射频等离子炬。当水平安装射频等离子炬时，主处理反应器盖应有开口，以便将粉末垂直于等离子体喷射轴线送入等离子体喷射中。
*.材料等离子体处理系统的设计必须具有高度的灵活性，并且能够用于获得球形粉末、纳米粉末合成和等离子体表面处理。
*.粉末进料速率显示器。
*.高精度粉末进给速率调节。
*.多个可适应粉末脱气的端口。
*.粉末给料器的控制箱可拆卸，易于清洁，可远程操作控制粉末给料器。
*.可用颗粒尺寸范围：*-* μm。
*.进料速率范围：*-* g/min。
*.典型重复性：≤*%。
*.颗粒形态：不规则形状／圆形。
*.远程控制阀，以及用于监测材料等离子体处理系统中绝对压力的压力传感器。
*.真空装置必须提供系统对材料等离子体处理的抽气能力≥* L/s。
*.无油真空泵站必须具有可调驱动速度，并确保在等离子体形成气体流速为*-* L/min的范围内，系统内维持材料等离子体处理操作压力的能力，该操作压力范围为* kPa至* kPa。
*.气体处理：Ar、Ar/H*、Ar/He、N*。
*.变频驱动无油气密压缩机。
*.储气罐容积不小于0.* m*。
*.储气罐压力监测和控制。
*.适于初步储罐抽真空的端口。
