重庆大学显微镜类仪器设备采购--包3：原子力显微镜更正公告（二）

序号

原条款参数要求

修改后参数要求

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※*.* 力学性质测量模式：

横向力/摩擦力显微镜；

动态和静态力曲线测试；

纳米压痕/纳米力学映射模式；

磁场力显微技术；静电力显微技术；

高次谐波成像模式；分子力力谱模式；

纳米刻蚀与纳米操纵；

※*.* 力学性质测量模式：

横向力/摩擦力显微镜；

动态和静态力曲线测试；

纳米压痕/纳米力学映射模式；

磁场力显微技术；

静电力显微技术；

分子力力谱模式；

纳米刻蚀与纳米操纵；

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▲*.高级成像模式：系统应具备高次谐波成像或双频共振追踪等高级多频激励模式， 用于增强材料纳米力学或压电性能的表征能力。

▲*.高级成像模式：系统应具备高级多频激励模式，用于增强材料纳米力学或压电性能的表征能力(提供高级多频激励模式的证明材料)。

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▲*.样品台与稳定性：样品台可容纳直径≥*mm，高度≥*mm 的样品，并配备马达驱动的大范围位移台（行程≥*mm）。系统热漂移速率应低于 0.0* nm/sec。* μm 的扫描范围内，能够以不低于 *Hz 的扫描频率获得清晰、无失真的图像。

*.样品台与稳定性：样品台可容纳直径≥*mm，高度≥*mm 的样品，并配备大范围位移台（行程≥*mm）。

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▲*.扫描器范围: 采用闭环控制扫描器，XY 扫描范围≥* μm，Z 轴范围≥* μm。

▲*.扫描器范围: 采用闭环控制扫描器，XY 扫描范围≥* μm，Z 轴范围≥* μm。

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▲*.扫描器噪音与精度：Z 轴闭环传感器噪音低于 0.0* nm (RMS)，X、Y 轴闭环传感 器噪音低于 0.0* nm (RMS)。需具备优异的线性度，以保障成像的几何保真度。扫描器质保期不低于 * 年。

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▲*.大范围扫描稳定性：扫描器须具备“Z 轴限位”或类似功能，实现对超出测量范围的深坑或是边缘位置的稳定成像。Auto Z Range: 通过预扫描获得的样品粗糙度，来自动设定 Z 轴动作范围， 自动实现小粗糙度样品的精细测量或大粗糙度样品的稳定测量。

*.系统支持实现对超出测量范围的深坑或边缘位置的稳定成像；支持通过预扫描获得的样品粗糙度，来设定 Z 轴动作范围，实现小粗糙度样品的精细测量或大粗糙度样品的稳定测量。

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▲*.激光光源：采用低噪音、低相干性 SLD 激光器，波长 *nm，功率≥*µW 及配套 适配器； (提供证明材料）

▲*.激光光源：采用低噪音、低相干性激光器，波长 ≥*nm，功率≥*µW； (提供证明材料）

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*.检测系统：直流激光探测器本底噪音低于0.0* nm (Adev, 0.*Hz-*kHz 带宽)，确保对微小悬臂偏转的高灵敏度探测。

*.检测系统：直流激光探测器本底噪音低于0.0*nm，确保对微小悬臂偏转的高灵敏度探测。

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*.扫描隧道显微镜功能：能够通过扫描隧道电流的检测和反馈得到高分辨的原子或分 子像。隧道电流增益≥*x*^* V/A，电流检测范围至少覆盖 * pA-* nA。

▲*.扫描隧道显微镜功能：能够通过扫描隧道电流的检测和反馈得到高分辨的原子或分子像。隧道电流增益≥*x*^* V/A，电流检测范围至少覆盖 * pA-* nA。

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▲*.光学观察系统：连续可变倍率光学显微镜，视野范围 *.* mm×*.* mm-0.* mm× 0.* mm；光学系统：CMOS 像素点≥* 万，光学分辨率≤* μm。视野亮度由软件控制。光学系统噪音<* pm(Adev,* Hz 到 * KHz 测试带宽)。

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*.系统自检功能：扫描器性能自检，通讯自检，电源自检，信号发生自检；系统高度噪音<*pm（Adev,*Hz 到 *KHz 带宽）。

*.系统自检功能：扫描器性能自检，通讯自检，电源自检，信号发生自检；系统高度噪音<*pm。

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▲*. 最 高 像 素 采 集 ： ≥* 点 ； 系 统 光 学 分 辨 率 小 于 * μm ， 视 场 范 围： * μm×* μm。

▲*. 最 高 像 素 采 集 ： ≥* 点 ； 系 统 光 学 分 辨 率 小 于 * μm 。

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▲*.预装 Pre-Mount 探针支架：通过磁力吸附结构使用预装探针。

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*.智能探针识别与校准：系统能自动识别探针类型，并一键完成悬臂弹性常数和光学灵敏度的校准。全自动激光对准系统：软件控制，自动完成激光点-探针位置调节和光电二极管检测器自动归零及信号优化。

*.智能探针识别与校准：系统能自动识别探针，并一键完成悬臂弹性常数和光学灵敏度的校准。可通过软件控制激光点-探针位置调节、光电二极管检测器自动归零及信号优化。

*.控制器：至少三个全数字双频锁相放大器。其中*个为工作在* MHz的双频率数字积分锁相放大器；*个为工作在* MHz的双频率数字积分锁相放大器。两个输出频率在* MHz的双频率频率合成器，频率范围从直流到最大* MHz（* mHz步长）。一个输出频率在* MHz的双频率频率合成器，频率范围从直流到最大* MHz（* mHz步长）。数字调Q范围：* KHz-* MHz。内置锁相放大器，单通道图像采集像素不低于*×*。

*.控制器：至少三个全数字锁相放大器，数字调Q范围不小于：*KHz-*MHz。

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▲*.电流特性测量附件：扫描扩散电阻显微镜 SSRM，电流测量范围至少覆盖 *pA-0.* mA。

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▲*.机械性能测量附件 :粘弹性原子力显微镜 VE-AFM ，切向调制原子力显微镜 LM-FFM，粘着力显微镜 Adhesion。

▲*.机械性能测量附件:粘弹性原子力显微镜，切向调制原子力显微镜，粘着力显微镜。

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▲*.样品环境控制：配备加热样品台，加热温度范围室温至 *℃, 控温精度优于 ± *℃，具备防热漂移设计。具备液相测量功能，包括液相 DFM 探针支架及液相池。

*.样品环境控制：配备加热样品台，加热温度范围室温至 *℃, 控温精度优于± *℃，具备防热漂移设计。具备液相测量功能，包括液相探针支架及液相池。

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※*.操作软件: 软件需支持多区域自动序列测量、自适应扫描等智能功能。并具备智 能探针参数校准功能。操作导航、RealTune II 自动判定测量参数、Recipe 菜单化测量功能、实时放大，移动测量位置。

※*.操作软件: 软件需支持多区域自动序列测量、自适应扫描等智能功能。并具备智 能探针参数校准功能。操作导航、自动判定测量参数、菜单化测量功能、实时放大，移动测量位置。

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※*.分析软件:软件内置无需二次编程的高级分析工具包，例如纳米力学定量分析、 电学特性分析、三维图像显示、线粗糙度分析、剖面分析、Tilt/Flat/Edit/Clip/Mask/Local Filter/FFT Filter 图形处理功能、离线分析软件；软件架构应开放，支持用户脚本编程 或提供API接口，便于自定义测量流程和二次开发。软件支持自动进针进行智能扫描功能； 扫描过程中能实时输出样品的三维图，操作软件须为开源免费的，可进行二次开发。 数据处理器：需科研与教学过程中对高效运算、数据分析和建模仿真的需求，具备稳定的多任务处理能力，能够流畅运行各类专业软件及办公系统。其图形处理性能优良，可支持三维设计、图像渲染及多媒体展示。存储与数据管理能力突出，能够保障大规模科研数据及教学资源的安全、高效使用，整体性能完全符合科研与教学工作要求。

*.分析软件:软件内置无需二次编程的高级分析工具包，例如纳米力学定量分析、 电学特性分析、三维图像显示、线粗糙度分析、剖面分析、Tilt/Flat/Edit/Clip/Mask/Local Filter/FFT Filter 图形处理功能、离线分析软件；软件架构应开放，支持用户脚本编程 或提供API接口，便于自定义测量流程和二次开发。软件支持自动进针进行智能扫描功能；扫描过程中能实时输出样品的三维图，分析软件须为开源免费的，可进行二次开发。 数据处理器：需科研与教学过程中对高效运算、数据分析和建模仿真的需求，具备稳定的多任务处理能力，能够流畅运行各类专业软件及办公系统。其图形处理性能优良，可支持三维设计、图像渲染及多媒体展示。存储与数据管理能力突出，能够保障大规模科研数据及教学资源的安全、高效使用，整体性能完全符合科研与教学工作要求。

序号

原条款参数要求

修改后参数要求

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*.高速控制器 * 套

*.高速控制器 * 套

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*.操作软件 * 套

*.操作软件 * 套

序号

原条款参数要求

修改后参数要求

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*.起评分：

有效投标人的起评分为 * 分。

*.扣分条款：

*.* 投标文件投标应答有一条不满足招标文件重要技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中带“▲”号标注的部分，共* 条），从起评分中扣除 * 分，扣完为止。

*.* 投标文件投标应答有一条不满足招标文件一般性技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中“▲”和“※”号标注的部分除外，共 * 条），从起评分中扣除 * 分，扣完为止。

*.起评分：

有效投标人的起评分为 * 分。

*.扣分条款：

*.* 投标文件投标应答有一条不满足招标文件重要技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中带“▲”号标注的部分，共 * 条），从起评分中扣除 * 分，扣完为止。

*.* 投标文件投标应答有一条不满足招标文件一般性技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中“▲”和“※”号标注的部分除外，共 * 条），从起评分中扣除 * 分，扣完为止。