清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统（HDPCVD）采购项目更正公告
公告详情：
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一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：清采招第*号
原公告的采购项目名称：清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统（HDPCVD）采购项目
首次公告日期：*年0*月*日
二、更正信息
更正事项：采购文件
更正内容：
更正前：
采购需求偏离表（★号条款）中：
* | ★ | 第四章 二、技术要求 | ★*.*.*良好的填充性能（可实现深宽比*：*@CD=*um的槽填充工艺)； |
更正后：
采购需求偏离表（★号条款）中：
* | ★ | 第四章 二、技术要求 | ★*.*.*良好的填充性能（可实现深宽比*：*@CD=*µm的氧化硅填充工艺，填充无孔隙)； |
更正日期：*年0*月*日
三、其他补充事宜
本更正公告未提及的事项与招标文件内容保持一致。
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
*.采购人信息
名 称：清华大学
地址：北京市海淀区清华园
联系方式：0*-*
*.采购代理机构信息
名 称：华诚博远工程咨询有限公司
地 址：北京市丰台区吴家村路*号华诚博远设计产业园
联系方式：周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉0*-*、0*-*
*.项目联系方式
项目联系人：周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉
电 话： 0*-*、0*-*
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